186、应用电容式传感器测量微米级的距离,应该采用改变()的方式。

**解析：** 电容式传感器的工作原理基于平行板电容器的公式： $$ C = \frac{\varepsilon A}{d} $$ 其中： * $C$ 为电容量； * $\varepsilon$ 为极间介质的介电常数； * $A$ 为极板的有效面积； * $d$ 为两极板之间的距离。 根据被测物理量的不同，电容式传感器通常分为三种类型： 1. **变极距型（改变 $d$）**： * 特点：电容 $C$ 与极板距离 $d$ 成反比。虽然其输入-输出特性是非线性的，但在微小位移测量中，当变化量 $\Delta d$ 远小于初始距离 $d_0$ 时，可以近似看作线性关系，且**灵敏度极高**。 * 应用：专门用于测量**微米级**甚至更小的微小位移、振动或压力引起的微小形变。 2. **变面积型（改变 $A$）**： * 特点：电容 $C$ 与极板面积 $A$ 成正比，具有良好的线性关系。 * 应用：通常用于测量较大的直线位移或角位移（毫米级或厘米级），灵敏度相对较低，不适合微米级的高精度测量。 3. **变介质型（改变 $\varepsilon$）**： * 特点：通过改变极间介质的种类、厚度或位置来改变介电常数。 * 应用：主要用于测量液位、材料厚度、湿度或成分分析等，而非直接测量几何距离。 **选项分析：** * **A. 极间物质介电系数**：用于测量液位、材质等，不用于直接测距。 * **B. 极板面积**：适用于较大位移测量，灵敏度不足以胜任微米级高精度测量。 * **C. 极板距离**：变极距型电容传感器具有极高的灵敏度，是测量微米级微小距离的首选方式。 * **D. 电压**：电压是激励信号或输出信号的处理对象，不是传感器结构参数的改变方式。 因此，测量微米级的距离应采用改变**极板距离**的方式。 **正确答案：C**