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2、直拉法单晶生长过程?
1、晶体中的缺陷有哪几种?
6.通常掩膜氧化采用的工艺方法为:
5. 磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
4.什么是沟道效应?如何才能避免?
3.比较硅单晶锭CZ、MCZ、和FZ这三种生长方法优缺点
2.比较分子束外延(MBE)生长硅与气相外延(VPE)生长硅的优缺点
1.双极型晶体管芯片的制造由哪些工艺步骤完成
10.二氧化硅作为扩散掩蔽膜需要满足一定的厚度要求。
9.半导体器件生产中所制备的二氧化硅薄膜属于无定形二氧化硅。
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