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混合集成电路装调工
500
单选题

1、在磷掺杂浓度为2×1016cm-3的硅衬底(功函数约为4.25eV)上要做出欧姆接触,下面四种金属最适合的是( )。

A
  In (Wm=3.8eV)
B
  Cr (Wm=4.6eV)
C
  Au (Wm=4.8eV)
D
  Al (Wm=4.2eV)

答案解析

正确答案:A

解析:

在磷掺杂浓度为2×1016cm-3的硅衬底(功函数约为4.25eV)上要做出欧姆接触,下面四种金属最适合的是( )。 A. In (Wm=3.8eV) B. Cr (Wm=4.6eV) C. Au (Wm=4.8eV) D. Al (Wm=4.2eV) 答案:A 题目解析:答案A是正确的。要制作欧姆接触,金属的功函数应该低于半导体的功函数。在这种情况下,In (铟)金属的功函数最接近硅衬底的功函数,因此是最适合的选项。
混合集成电路装调工

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