对于查验记录良好的车辆应随着信用机制的建立逐步()提高查验效率。

本题考察的是对公路收费及监控管理中查验记录与信用机制关系的理解。

我们来逐一分析选项：

A. 增加信用度：此选项虽与信用机制相关，但题目问的是查验效率的变化，而非信用度的增减。信用度的增加是查验记录良好的自然结果，但不是直接提高查验效率的手段，因此A选项不正确。

B. 增加查验频率：对于查验记录良好的车辆，理应减少其查验流程以提高通行效率，而非增加查验频率。这既不符合优化流程、提高效率的原则，也与题目的“查验记录良好”相悖，所以B选项错误。

C. 减少查验频率：对于信用记录良好的车辆，减少查验频率是合理的，因为这能显著提高车辆的通行效率，同时也是对守信车辆的一种鼓励和肯定。这与题目要求的“提高查验效率”直接相关，因此C选项正确。

D. 减少预约率：预约率与查验效率无直接关联，且对于查验记录良好的车辆，减少预约率并不能直接提高查验效率，反而可能带来通行上的不便。因此，D选项不正确。

综上所述，正确答案是C，即对于查验记录良好的车辆，应随着信用机制的建立逐步减少查验频率，以提高查验效率。