5、“机”的因素，也是影响安全生产的重要因素，主要表现为()等。

选项解析：

A. 设备性能不良：设备的性能直接关系到生产安全，如果设备性能不良，可能会导致生产过程中出现故障，增加事故发生的风险。

B. 设备磨损老化：随着使用时间的增长，设备会出现磨损和老化，这会降低设备的可靠性，同样会增加事故的风险。

C. 安全设施缺陷：安全设施是为了预防事故和减少事故损失而设置的，如果存在缺陷，那么在紧急情况下可能无法发挥应有的作用，从而影响安全生产。

D. 设备监控不强：虽然设备监控的强弱也会影响安全生产，但这更多的是一个管理层面的问题，而不是“机”的因素的直接表现。

为什么选这个答案：

选项A、B和C都是直接与“机”的因素相关，即设备的性能、状态和配备的安全设施，这些都是直接影响安全生产的硬件条件。而选项D虽然也与安全生产有关，但它更多地涉及到管理层面的监控问题，而不是设备本身的“机”的因素。因此，正确答案是ABC。