94.16Mn钢厚板或作为低温压力容器用钢时，为了提高低温韧性，降低脆性转变温度，需要在()处理后使用。

解析如下：

题目考察的是对16Mn钢（一种常见的低合金高强度钢）进行热处理以改善其低温性能的知识点。对于16Mn钢，特别是用于低温压力容器等重要结构件时，材料的低温韧性尤为重要，因为它直接关系到设备的安全运行。

A. 回火：回火通常是淬火之后的一个步骤，用来减少淬火产生的内应力，并调整硬度。但对于提高低温韧性并不是最佳选择。

B. 退火：退火的主要目的是软化钢材，改善切削加工性和消除应力，它不能显著提高低温韧性。

C. 正火：正火是将钢材加热至一定温度以上（如AC3以上），保温一段时间后，在空气中冷却的一种工艺。它可以细化晶粒，均匀组织，从而提高钢材的综合力学性能，包括提高低温韧性，降低脆性转变温度。因此，正火是正确答案。

D. 调质：调质是指淬火后再进行高温回火的过程，可以得到良好的综合机械性能，但是相对于正火而言，它不是提高低温韧性的首选方法。

综上所述，正确答案为C. 正火，因为正火能够有效改善16Mn钢的微观结构，使其更适合用于低温条件下工作的设备。