在SF6电气设备抽真空后，用( )。

这是一道关于SF6电气设备操作规程的选择题。在处理SF6电气设备时，特别是在抽真空后，需要使用特定压力和纯度的氮气进行冲洗，以确保设备内部的清洁和安全。

首先，我们需要理解题目中的关键信息：

设备类型：SF6电气设备
操作步骤：抽真空后
冲洗介质：高纯度氮气
冲洗压力：9.8×10^4Pa（即1个大气压）

接下来，分析各个选项：
A. 压力为9.8×10^4Pa（1个大气压)的高纯度氮气冲洗3次：这个选项符合一般操作规程中对冲洗次数和压力的要求。
B. 压力为9.8×10^4Pa（1个大气压)的高纯度氮气冲洗2次：冲洗次数少于A选项，可能不足以完全清洁设备内部。
C. 压力为9.8×10^4Pa（1个大气压)的高纯度氮气冲洗4次：虽然冲洗次数更多，但不一定更优越，且可能增加操作时间和成本。
D. 压力为9.8×10^4Pa（1个大气压)的高纯度氮气冲洗5次：同样，冲洗次数过多，不一定带来额外的好处，且增加了操作复杂性。

选择A选项的理由是，它符合标准操作规程中对SF6电气设备抽真空后冲洗的要求。通常，为了确保设备内部的清洁度和安全性，会采用特定压力和纯度的氮气进行一定次数的冲洗。在这个问题中，3次冲洗是一个被广泛接受的标准次数，而1个大气压的高纯度氮气则确保了冲洗的有效性和安全性。

因此，正确答案是A：压力为9.8×10^4Pa（1个大气压)的高纯度氮气冲洗3次。