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多选题
工艺过程中产生的静电具有（ ）的特性。
A
（A）泄漏慢
B
（B）能量大
C
（C）电压高
D
（D）多种放电形式
E
E电流大
答案解析
正确答案：ACD
解析：
工艺过程中产生的静电具有以下特性：
A. 泄漏慢：静电能够长时间积累并保持，泄漏速度相对较慢。
B. 能量大：由于静电积累的能量较高，可能在放电时释放大量的能量。
C. 电压高：静电具有较高的电压，可能达到较高的电位差。
D. 多种放电形式：静电放电可以以多种形式发生，例如火花放电、电弧放电等。
因此，选项ACD描述了工艺过程中产生的静电的常见特性，包括泄漏慢、能量大和多种放电形式。
相关知识点：
工艺静电特性：泄漏慢、电压高、放电多
