对RZ值小于08μm的工件，需采用（ ）来测量其表面粗糙度值。

让我来为您解析这道题： 正确答案是C.干涉显微镜。让我解释各个选项并说明原因： A. 工具显微镜： - 主要用于测量工件的形状和位置误差 - 适合测量长度、角度等几何尺寸 - 分辨率不够高，无法精确测量如此细微的表面粗糙度 B. 光切显微镜： - 通过斜射照明产生明暗条纹来测量表面粗糙度 - 适用于Ra值在0.8μm以上的表面测量 - 对于Rz<0.8μm的超光滑表面，精度不足 C. 干涉显微镜（正确答案）： - 利用光波干涉原理进行测量 - 能够达到纳米级的分辨率 - 特别适合测量非常光滑的表面（如题目中的Rz<0.8μm） - 可以获得极高的测量精度 简单示例：想象一下用尺子量布料的厚度，普通尺子只能看出大概，但要用专业工具才能精确到丝线的粗细。对于这么精细的表面粗糙度测量，就需要像干涉显微镜这样精度极高的设备。 因此，当需要测量Rz值小于0.8μm的超光滑表面时，选择干涉显微镜是最合适的。