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三氯氢硅在空气中的爆炸极限为6.9%～70%
三氯氢硅的沸点是31.8℃
精馏塔的回流比是指塔顶回流量与采出量之比
V9103的原料来自于回收工段
V9202装有物料是STC
V9102装有物料是DCS
V9101装有物料是精制TCS
V9101装有物料是STC
V9102装有物料是STC
二氯二氢硅贮罐V9102体积为100m³
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