A、 不受材料物理性能限制
B、 可实现非接触加工
C、 可实现非接触加工
D、 不易实现微细加工
答案:D
A. 磨制
B. 抛光
C. 清洗
D. 镀膜
A. 明场
B. 暗场
C. 偏正光
D. 微分干涉差